型號:Agilent VacIon Plus
特點:VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode Vaclon Plus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統中及高分辨電子顯微鏡中。
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StarCell® |
改進型二極離子泵 |
二級泵 |
氮氣名義抽速 (*) (L/s) |
410 |
440 |
500 |
在 1 x 10-6 mbar 壓力下的工作壽命(小時) |
80,000 |
50,000 |
50,000 |
最大啟動壓力 (mbar) |
≤ 1x10-2 |
≤ 1x10-3 |
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極限真空 |
低于 10-11 |
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抽氣口法蘭 |
8 英寸 CFF (NW 150) AISI 304 ESR |
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max烘烤溫度 (℃) |
350 |
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重量,kg(磅) |
120 (264) |
(*)根據ISO/DIS3556-1-1992測試
抽速與進氣口壓力關系
外形圖
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