型號:VacIon Plus 20
特點:安捷倫的 VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。
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安捷倫的 VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode VacIon Plus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode VacIon Plus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應用中,因此適合在粒子加速器、同步加速器環和表面分析應用中提供超高真空。StarCell 的設計使其能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。它還能以高速度和大容量抽除甲烷、氬氣和氦氣。StarCell VacIon Plus 離子泵適合需要在 10 -8 mbar 或以上壓力下穩定工作的應用。
特性:
1.單元室采用優化設計,可最大限度提高排放強度和抽速
2.離子泵在真空狀態下運輸
3.具有寬廣的抽速范圍(從 0.2 l/s 至 1000 l/s)
4.可提供多種泵體配置
5.聯鎖的真空密封穿導件連接方便,并可避免腐蝕和最大限度縮小泵的總體尺寸
6.三種不同的抽氣單元可抽除所有可能的氣體混合物
7.專用陶瓷絕緣子可延長泵的壽命
8.提供掃描電子顯微鏡 (SEM) 型
性能指標:
技術指標:
StarCell® | 改進型二極離子泵 | 二極泵 | |
氮氣名義抽速 (*) (L/s) | 20 | 22 | 27 |
在 1 x 10-6 mbar 壓力下的工作壽命(小時) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
最大啟動壓力 (mbar) | ≤ 5x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
極限真空 | 低于 10-11 | ||
抽氣口法蘭 | 2.75 英寸 CFF (NW 35) AISI 304 ESR SST | ||
MAX烘烤溫度 (℃) | 350 | ||
重量,kg(磅)(帶鐵氧體磁鐵) | 凈重 7 (15),運輸重量 11 (24) |
(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試
抽速與進氣口壓力關系
外形圖:
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